该厂为8厘米晶圆出产线配合的超软水系统化，整天导致含硅重工业废水150吨。重工业废水里面的虽无天价属，但硅水平高易积垢，且电阻器率需起到18MΩ·cm就要中水回用。应有加工处理工学艺没法充分考虑新出台的《网上重工业水弄脏物污染物口原则》（GB39731-2020）特别污染物口允许值。 废污水成份结构特征 重点环保问题物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、顆粒硅（孔径0.1-1μm） 特种规范要求 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水环境特质 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机物特征缜密 治疗加工过程流程步骤 企业创新应用"梯级膜提取+电去阴阳离子"组成方法： 微滤预净化处理 ：1μm瓷质膜阻拦大颗料硅，通量维系80LMH 阴阳离子置换树酯 ：D201大孔硅胶粘合剂选泽性吸附剂硅酸团伙 三级RO体系 ：首段利用率60%，第二点段所采用高脱硼膜零件 EDI电去亚铁离子 ：电压规格2A/m²，持续保持弄掉残留亚铁离子 紫外光除菌 ：254nm红外光谱线用量40mJ/cm² 新技术闪光点 联合开发专业化阻硅剂（有机质胺类结合物），延迟膜污染源时间段3倍 EDI信息模块研发流道的设计，硅避开率的提升至99.8% 优酷云硅分析一下仪（检测的条件0.1-500μg/L）建立深度贫困有效控制 自动运行成果 经第三点方监测： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含量从8μg/L下降0.3μg/L 平台回收分类处理率从原40%提拔至68% 膜撤换时间段延缓至5年，年运转投入大大减少35%