半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
建设项目经验
该各个厂家公司为亚洲区县智领的半导体鑫霖环保芯片公测各个厂家公司,隶属于粤港澳大湾区形区县,一般进行中高端鑫霖环保芯片的小学划片和封装形式测试方法。鉴于位置绿色规范要求须严格,各个厂家公司影响落实废渣零直接排放的项目工程。的项目于2030年启动时,202几年6月竣工开工,加工处理规模化为200吨/日,总投资的约2000多万元。
生产废水化学物质及源
本项目标片区废渣包括如下特质:
高质量渗透压氟化物,大部分出于晶圆裁割后的清理流程,氟正离子质量渗透压高达模型150-200mg/L
含有納米级硅粉粒子,粒度多在100-500nm相互
巧妙用电负荷较高,COD在500-800mg/L
带有进样器巨资属如铅、镉等
电阻率高,常常在2000-3000μS/cm
补救鑫霖环保的流程
为完成零释放任务,的工艺制定重在满足废水处理方法的分类获得和资源英文二手回收:
电镀废水各类收集整理控制系统
:将含氟化工焦化废水与其他的化工焦化废水分开单独进行抽取
电化学积淀除氟
:适用二级钙盐沉积法,加上高效能沉积池
高等 氧化物外理
:活性氧催化反应氧化物分解难治理 生物碳物
膜高浓软件
:采取DTRO碟管式反固化,果汁3的倍数为10倍
蒸馏成果
:MVR机械厂饱和蒸汽再缩减化掉器外理浓水
太干软件系统
:将心得盐干澡后看做企业副护肤品外售
工作成效
软件系统正常运作参数提示 :
氟化物取除率>99.9%,留水氟铝离子<1mg/L
COD总祛除率>98%,满水后COD<20mg/L
水成本回收利用率>95%,仅引起极富析出盐
每月可收售高品味工业废水处理水约16万吨
析出盐饱和度高达化学工业级规格,改变能源化凭借
建设项目并不是达到了焦化废水零产生,还顺利通过产品回报創造了约8070万/年的超额利益。