半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
新项目环境
该企业主地属河南省东莞市,通常作为顶级半导体器件集成块的打包封装公测,日尾气排放量废需水量约200吨。由生产的的过程 中操作不同化学剂学化学剂,废渣营养成分繁杂,有效高溶度铜、镍等血本属、环氧漆硅胶粘合剂、光刻胶等充分的污染。企业主原来解决公共设施始终无法需求最近尾气排放量准则,急要提升等级更新。
废液成份及的来源
镀膜生产废水
:来原于集成ic引脚塑胶电镀工艺程序,含有铜、镍、锡等血本属正离子,pH值下降大。
有机肥料污水
:最主要源自打包封装胶应用、光刻工艺流程,含酚醛树脂材料树脂材料、异丙醇、二甲苯等生产萃取剂。
酸碱性焦化废水
:有于晶圆进行维护清洁和蚀刻步骤,具有氢佛酸、氢钝化钠、氢钝化钠等。
补救技术过程
预处置价段
酸性采和
:实现投药设计调接pH至6-9,制止后继正确处理设施金属腐蚀。
混疑悠长岁月中
:添加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),剔除悬浮物物和方面血本属。
体系化治理步骤
高阶氧化反应
:通过Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发难挥发有机化学物,COD洗去率达70%超过。
膜过滤水
:超滤膜(UF)+反融入(RO)组合构成工艺设计,进步骤挪作他用血本属和消融性设计物。
的深度治理 第一阶段
化合物对换
:帮着对于铜、镍铝离子,保证 水流血本属占比不低于0.5mg/L。
粘附性炭粘附
:看作结果担保,清除存留氢化物发生器有机肥料物。
既定功效
经解决后,有水出水质监测到《电子设备化学工业水感染物排放条件条件》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,循环率不断提升至60%,常年避免浪费使用水成本费约80万块人民币。