创业项目图片背景
某较大型半导手工制造客户在长四角区域,主要是产出晶圆和治疗芯片。在产出进程中,晶圆裁切和镜面抛光过程制造不少碾磨液废液,每日排出量约50吨。伴随废液中含有高溶度飘浮物、铝合金阴离子及有机肥料增长剂,随便排出会对工作环境导致情况严重生态破坏,客户需要设计专业课程治疗安全设施。
废水处理因素及收入
研磨磨光液废渣重点源头于晶圆生产加工中的电学机磨光(CMP)工作,重点水空气污染物比如:
悬浮物颗粒肥料物
:二腐蚀物硅、腐蚀物铝等机磨颗料,粒度在0.1-1μm,氧化还原电位达到2000mg/L。
合金金属化合物
:铜、铁、锌等,来自五湖四海拋光垫损耗及晶圆外壁合金材料层,铜阳离子浓度值约50mg/L。
有机的放入剂
:收录表皮可溶性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸酸性性有机化合物
:pH值浮动大,常在2-11期间。
补救方法步骤流程
采取废气性能,主要采用“预补救+血生化+进一步补救”组合构成生产工艺:
转换池
:均等化水的硬度需水量,增多酸性调试pH至中性粒细胞。
混泥土沉淀自己
:污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),祛除透明桌面物和溶液,沉降后SS祛除率>90%。
催化腐蚀腐蚀
:按照Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)可降解充分生成剂,COD避开率达60%。
生态学解决
:MBR膜菌物生理反应釜进几步生物降解剩下设计物,COD下降100mg/L下述。
铁离子交流
:专门的树脂材料活性炭吸附铜铁离子,出液铜水分含量<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭滤水
:有效确保冒水纯净,超过《污水处理宗合释放标淮》(GB8978-1996)6级标淮。
进而效率
设备加载稳定的后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
使用率达40%,剩余时间不合格排卸标准,年以减少生产废水排卸标准1.八万吨。
处理总成本约15元/吨,远不高于职业平均的。